De subsidie bedraagt het percentage en het maximum subsidiebedrag:
- a.bedoeld in artikel 2.2.11, voor zover het de onderzoeks- en ontwikkelingsfase, bedoeld in artikel 2.2.10, betreft;
- b.bedoeld in artikel 2.2.16, voor zover het de emissiemetingenfase, bedoeld in artikel 2.2.15, betreft;
- c.bedoeld in artikel 2.2.22, voor zover het de resterende productieve levensduurfase, bedoeld in artikel 2.2.21, betreft.